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| 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 专利
专利号: CN201110279269.4, 申请日期: 2014-11-12, 公开日期: 2013-04-03
作者: 朱效立 ; 史丽娜; 李冬梅; 刘明; 谢常青
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| 改善微机械非制冷红外成像芯片中反光板平整度的方法 专利
专利号: CN200710178317.4, 申请日期: 2011-05-11, 公开日期: 2009-06-03
作者: 李超波; 欧毅; 史海涛; 陈大鹏; 焦斌斌
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| 微电子机械系统光学解复用器芯片的制备方法 专利
专利号: CN200710064865.4, 申请日期: 2010-04-14, 公开日期: 2008-10-01
作者: 董立军; 韩劲东; 欧毅; 陈大鹏; 孙雨南
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| 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法 专利
专利号: CN200510086971.3, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2007-05-30
作者: 陈大鹏; 欧毅; 白宏磊; 石莎莉; 申功炘
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| 采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法 专利
专利号: CN200510127446.1, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 2007-06-13
作者: 谢常青; 叶甜春; 陈大鹏; 欧毅; 石莎莉
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| 基于硅衬底无牺牲层的非制冷红外焦平面阵列的制作方法 专利
专利号: CN200610066888.4, 申请日期: 2009-01-14, 公开日期: 2007-10-03
作者: 殴毅; 叶甜春; 石莎莉; 陈大鹏; 景玉鹏
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| 微电力机械系统电可调谐光学滤波器芯片制备方法 专利
专利号: CN200510062484.3, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2006-10-04
作者: 孙雨南; 崔芳; 王冠亚; 欧毅; 陈大鹏
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| 采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法1 专利
专利号: CN200510011989.7, 申请日期: 2008-06-25, 公开日期: 2006-12-27
作者: 陈大鹏; 石莎莉; 叶甜春; 谢常青; 欧毅
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| 单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法 专利
专利号: CN200510011988.2, 申请日期: 2008-06-25, 公开日期: 2006-12-27
作者: 陈大鹏; 李超波; 叶甜春; 王玮冰
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| 基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法 专利
专利号: CN200510012239.1, 申请日期: 2008-02-13, 公开日期: 2007-01-24
作者: 欧毅; 石莎莉; 陈大鹏; 叶甜春
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