一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法 | |
陈大鹏![]() ![]() ![]() | |
2009-07-08 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN200510086971.3 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 本发明涉及微电子器件制备技术领域,特别是一种MEMS振动射流执 行器芯片的制备方法,方法包括:1.采用低压化学气相沉积的方法在硅 衬底双面生长氮化硅膜;2.在硅基片正面光刻出上电极图形;3.蒸发 铬/金薄膜;4.超声剥离;5.掩蔽刻蚀;6.在硅基片背面光刻腐蚀窗 口图形;7.胶掩蔽刻蚀背面腐蚀窗口上的氮化硅;8.湿法腐蚀释放拍 动片结构;9.在第二片硅片上满片蒸发铬/金薄膜;10.在第二片硅片 的金膜表面涂光学光刻胶;11.将第一片硅片的背面与涂有光刻胶的第 二片硅片粘合;12.划片成线列器件;13.分别在上下硅片的金膜上焊 接电极引线。应用于小型无人飞行器上。 |
公开日期 | 2007-05-30 |
申请日期 | 2005-11-24 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7270] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈大鹏,欧毅,白宏磊,等. 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法. CN200510086971.3. 2009-07-08. |
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