一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法

	一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法
	陈大鹏; 欧毅; 白宏磊; 石莎莉; 申功炘
	2009-07-08
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN200510086971.3
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及微电子器件制备技术领域，特别是一种MEMS振动射流执行器芯片的制备方法，方法包括：1.采用低压化学气相沉积的方法在硅衬底双面生长氮化硅膜；2.在硅基片正面光刻出上电极图形；3.蒸发铬/金薄膜；4.超声剥离；5.掩蔽刻蚀；6.在硅基片背面光刻腐蚀窗口图形；7.胶掩蔽刻蚀背面腐蚀窗口上的氮化硅；8.湿法腐蚀释放拍动片结构；9.在第二片硅片上满片蒸发铬/金薄膜；10.在第二片硅片的金膜表面涂光学光刻胶；11.将第一片硅片的背面与涂有光刻胶的第二片硅片粘合；12.划片成线列器件；13.分别在上下硅片的金膜上焊接电极引线。应用于小型无人飞行器上。
公开日期	2007-05-30
申请日期	2005-11-24
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/7270]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	陈大鹏,欧毅,白宏磊,等. 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法. CN200510086971.3. 2009-07-08.