微电力机械系统电可调谐光学滤波器芯片制备方法 | |
孙雨南; 崔芳; 王冠亚![]() ![]() ![]() ![]() | |
2008-09-24 | |
著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
专利号 | CN200510062484.3 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明专利 |
英文摘要 | 一种微电力机械系统(MEMS)电可调谐光学滤波器芯片的制备方法, 包括步骤:1、在硅基片表面上光刻出下电极图形;2、蒸发铬/金薄膜; 3、超声剥离;4、淀积二氧化硅牺牲层;5、光刻腐蚀隔离槽图形;6、 蒸发铬作为掩蔽层;7、超声剥离;8、干法刻蚀隔离槽内的二氧化硅;9、 去铬;10、淀积氮化硅;11、光刻上电极图形;12、蒸镀铬/金薄膜;13、 超声剥离;14、光刻腐蚀孔;15、干法刻蚀氮化硅;16、湿法去除二氧 化硅牺牲层;17释放结构。由此芯片制做的微电力机械系统电可调谐光 学滤波器器件,可在光通信波分复用系统中将光纤中不同波长传输的信 号进行复用或解复用,或者在光网络中用作光插/分复用器(OADM)。 |
公开日期 | 2006-10-04 |
申请日期 | 2005-03-29 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/7328] ![]() |
专题 | 微电子研究所_回溯数据库(1992-2008年) |
作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙雨南,崔芳,王冠亚,等. 微电力机械系统电可调谐光学滤波器芯片制备方法. CN200510062484.3. 2008-09-24. |
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