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科研机构
高能物理研究所 [16]
内容类型
期刊论文 [15]
学位论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2011 [1]
2009 [1]
2004 [2]
2003 [2]
2002 [3]
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粒子物理与原子核物理 [1]
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Microfabrication of folded waveguide using UV-LIGA for 220 GHz traveling wave tube
期刊论文
HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS, 2015, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 24101
作者:
Ma
;
Tianjun
;
Sun
;
Jianhai
;
Hao
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/04/18
Fabrication tolerances
Folded waveguides
Micro-fabrication techniques
Operating frequency
Polymer monofilaments
Process parameters
UV LIGA
Vacuum electron devices
利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极
期刊论文
电加工与模具, 2011, 期号: 5, 页码: 14-17+25
作者:
伊福廷
;
李勇
;
刘改红
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/12/25
电火花电极
异形阵列电极
大高宽比金属结构
LIGA技术
微网气体探测器微结构SPACER的研制
期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 7, 页码: 419-423
作者:
侯凤杰
;
伊福廷
;
樊瑞睿
;
张菊芳
;
廖元勋
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2015/12/25
多丝正比室
微网气体探测器
SU8胶
干膜
丝网
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
期刊论文
电加工与模具, 2004, 期号: S1, 页码: 39-41+94
作者:
邹丽芸
;
张院春
;
彭良强
;
黄军容
;
伊福廷
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2015/12/25
微细加工
LIGA技术
电火花加工
基于LIGA技术的微细电火花加工
期刊论文
机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28
作者:
彭良强
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2015/12/25
微细电火花加工
LIGA技术
微细加工技术
工具电极
微型机电系统
研究机构
喷墨打印机
成形电极
特种加工
磨削工艺
利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究
期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 126-128+141
作者:
伊福廷
;
张菊芳
;
彭良强
;
韩勇
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2015/12/25
MEMS
微结构
SU8
光刻
BSRF上的微细塑铸研究
期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 145-146
作者:
韩勇
;
彭良强
;
陈迪
;
伊福廷
;
张菊芳
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2015/12/25
LIGA
塑铸
X射线
LIGA工艺在工程中的两类应用
期刊论文
核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 883-888
作者:
高杨
;
李枚
;
彭良强
;
张菊芳
;
黄军容
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2015/12/25
LIGA
密码锁
加速度开关
MEMS
质子LIGA工艺的探讨
期刊论文
微纳电子技术, 2002, 期号: 5, 页码: 34-36
作者:
彭良强
;
徐韬光
;
韩勇
;
伊福廷
;
张菊芳
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2015/12/25
微细加工
质子束
准LIGA
利用LIGA技术制作过滤介质
期刊论文
过滤与分离, 2002, 期号: 4, 页码: 11--13
作者:
黄军容
;
彭良强
;
伊福廷
;
张菊芳
;
韩勇
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2015/12/25
过滤介质
LIGA技术
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