LIGA工艺在工程中的两类应用 | |
高杨; 李枚; 彭良强; 张菊芳![]() | |
刊名 | 核技术
![]() |
2002 | |
期号 | 10页码:883-888 |
关键词 | LIGA 密码锁 加速度开关 MEMS |
其他题名 | Two engineering applications of LIGA technology |
中文摘要 | 本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 ,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求 |
公开日期 | 2016-02-25 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221916] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 高杨,李枚,彭良强,等. LIGA工艺在工程中的两类应用[J]. 核技术,2002(10):883-888. |
APA | 高杨,李枚,彭良强,张菊芳,&黄军容.(2002).LIGA工艺在工程中的两类应用.核技术(10),883-888. |
MLA | 高杨,et al."LIGA工艺在工程中的两类应用".核技术 .10(2002):883-888. |
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