LIGA工艺在工程中的两类应用

	LIGA工艺在工程中的两类应用
	高杨; 李枚; 彭良强; 张菊芳; 黄军容
刊名	核技术
	2002
期号	10 页码:883-888
关键词	LIGA 密码锁加速度开关 MEMS
其他题名	Two engineering applications of LIGA technology
中文摘要	本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 ,初步分析了这两类组件制造对LIGA工艺的需求与要求
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/221916]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	高杨,李枚,彭良强,等. LIGA工艺在工程中的两类应用[J]. 核技术,2002(10):883-888.
APA	高杨,李枚,彭良强,张菊芳,&黄军容.(2002).LIGA工艺在工程中的两类应用.核技术(10),883-888.
MLA	高杨,et al."LIGA工艺在工程中的两类应用".核技术 .10(2002):883-888.