基于LIGA技术的微细电火花加工 | |
彭良强 | |
刊名 | 机械工人.冷加工
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2004 | |
期号 | 1页码:26-28 |
关键词 | 微细电火花加工 LIGA技术 微细加工技术 工具电极 微型机电系统 研究机构 喷墨打印机 成形电极 特种加工 磨削工艺 |
通讯作者 | 彭良强 |
中文摘要 | 随着众多消费产品向轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的微型机电系统(MEMS)已经成为众多研究机构和企业竞相投资的热门领域之一,其产品遍布工业、农业、医疗、 |
公开日期 | 2016-02-25 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222179] ![]() |
专题 | 高能物理研究所_多学科研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭良强. 基于LIGA技术的微细电火花加工[J]. 机械工人.冷加工,2004(1):26-28. |
APA | 彭良强.(2004).基于LIGA技术的微细电火花加工.机械工人.冷加工(1),26-28. |
MLA | 彭良强."基于LIGA技术的微细电火花加工".机械工人.冷加工 .1(2004):26-28. |
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