基于LIGA技术的微细电火花加工

	基于LIGA技术的微细电火花加工
	彭良强
刊名	机械工人.冷加工
	2004
期号	1 页码:26-28
关键词	微细电火花加工 LIGA技术微细加工技术工具电极微型机电系统研究机构喷墨打印机成形电极特种加工磨削工艺
通讯作者	彭良强
中文摘要	随着众多消费产品向轻、薄、短、小”方向的发展,微细加工技术日益成为新产品研发中的最重要组成之一,基于微细加工技术的微型机电系统(MEMS)已经成为众多研究机构和企业竞相投资的热门领域之一,其产品遍布工业、农业、医疗、
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222179]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	彭良强. 基于LIGA技术的微细电火花加工[J]. 机械工人.冷加工,2004(1):26-28.
APA	彭良强.(2004).基于LIGA技术的微细电火花加工.机械工人.冷加工(1),26-28.
MLA	彭良强."基于LIGA技术的微细电火花加工".机械工人.冷加工 .1(2004):26-28.