BSRF上的微细塑铸研究

	BSRF上的微细塑铸研究
	韩勇; 彭良强; 陈迪; 伊福廷; 张菊芳; 黄军容
刊名	微纳电子技术
	2003
期号	Z1 页码:145-146
关键词	LIGA 塑铸 X射线
其他题名	Research on moulding of microstructure at BSRF
通讯作者	韩勇
中文摘要	利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 ,也会导致变形等问题
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222066]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	韩勇,彭良强,陈迪,等. BSRF上的微细塑铸研究[J]. 微纳电子技术,2003(Z1):145-146.
APA	韩勇,彭良强,陈迪,伊福廷,张菊芳,&黄军容.(2003).BSRF上的微细塑铸研究.微纳电子技术(Z1),145-146.
MLA	韩勇,et al."BSRF上的微细塑铸研究".微纳电子技术 .Z1(2003):145-146.