微网气体探测器微结构SPACER的研制

	微网气体探测器微结构SPACER的研制
	侯凤杰; 伊福廷; 樊瑞睿; 张菊芳; 廖元勋; 陈元柏; 欧阳群
刊名	微纳电子技术
	2009
期号	7 页码:419-423
关键词	多丝正比室微网气体探测器 SU8胶干膜丝网
其他题名	Study of a Micromegas with Microfabricated SPACER
通讯作者	侯凤杰
中文摘要	在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出。本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器。对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣。实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好。使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰。另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微...
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222733]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心高能物理研究所_粒子天体物理中心
推荐引用方式 GB/T 7714	侯凤杰,伊福廷,樊瑞睿,等. 微网气体探测器微结构SPACER的研制[J]. 微纳电子技术,2009(7):419-423.
APA	侯凤杰.,伊福廷.,樊瑞睿.,张菊芳.,廖元勋.,...&欧阳群.(2009).微网气体探测器微结构SPACER的研制.微纳电子技术(7),419-423.
MLA	侯凤杰,et al."微网气体探测器微结构SPACER的研制".微纳电子技术 .7(2009):419-423.