基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

	基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
	邹丽芸; 张院春; 彭良强; 黄军容; 伊福廷; 张菊芳; 韩勇
刊名	电加工与模具
	2004
期号	S1 页码:39-41+94
关键词	微细加工 LIGA技术电火花加工
其他题名	Optimal process of micro- EDM based on LIGA technique
中文摘要	比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/222104]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	邹丽芸,张院春,彭良强,等. 基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究[J]. 电加工与模具,2004(S1):39-41+94.
APA	邹丽芸.,张院春.,彭良强.,黄军容.,伊福廷.,...&韩勇.(2004).基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究.电加工与模具(S1),39-41+94.
MLA	邹丽芸,et al."基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究".电加工与模具 .S1(2004):39-41+94.