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| 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 期刊论文 光学精密工程, 2011, 期号: 08 李四华; 徐静; 龙亮; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2012/04/13
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| 大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101587240, 申请日期: 2009-11-25, 公开日期: 2009-11-25 吴亚明; 李四华; 徐静 收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101549848, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07 李四华; 徐静; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载:487/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究 期刊论文 传感技术学报, 2008, 期号: 04 穆参军; 赵本刚; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008 穆参军 收藏  |  浏览/下载:65/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1912646, 申请日期: 2007-02-14, 公开日期: 2007-02-14 吴亚明; 刘玉菲; 李四华; 万助军 收藏  |  浏览/下载:43/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1844938, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2006-10-11 吴亚明; 赵本刚; 徐静; 刘玉菲; 高翔; 李四华 收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文) 期刊论文 半导体学报, 2006, 期号: 03 孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 黄宜平 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟 期刊论文 传感技术学报, 2006, 期号: 05 刘玉菲; 赵本刚; 吴亚明; 王跃林 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2012/01/06
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