| 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 | |
| 吴亚明 ; 赵本刚 ; 徐静 ; 刘玉菲 ; 高翔 ; 李四华 | |
| 2006-10-11 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN1844938 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用 微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的 Rogowski线圈和MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入 到MEMS扭转微镜的线圈中，在MEMS扭转微镜的背面制作反射镜面，镜面 将在电磁力矩的作用下绕轴摆动，采用对角度非常敏感的光束耦合方式能够 精确测量出镜面摆动角度，就可以获知电流值。这种光学电流传感器将 MEMS技术运用到高压大电流检测中，以感应电流驱动，在高压端无需驱动 电源，实现了光电隔离，具 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2006-10-11 |
| 申请日期 | 2006-05-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200610026522.4 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48281]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴亚明,赵本刚,徐静,等. 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法. CN1844938. 2006-10-11. |
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