| 题名 | 新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 |
| 作者 | 穆参军 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 吴亚明 |
| 关键词 | 微电子机械系统 高速大尺寸光学扫描镜 电磁驱动执行器 三明治蜂窝夹层结构 镜面动态形变 线扫描光学分辨率 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 高性能MEMS光学扫描执行器在图像显示、便携式投影仪等领域具有广泛的应用价值，并且在缩小器件结构尺寸、提高扫描速度、降低运行功耗以及保证光学性能等方面均具有无可比拟的优势，但是当MEMS光学扫描执行器扫描镜面尺寸达到毫米甚至厘米的大尺寸，并且器件需要进行高速大角度转动时，芯片在制作工艺与设计流程方面却遇到了新的困难。本论文针对高性能大尺寸MEMS光学扫描执行器设计和加工过程中出现的新问题，深入研究了能够同时实现高频率和大角度扫描的扭转梁结构优化设计方法、大角度扫描过程中扭转梁上实际应力分布特征以及提高电磁 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82342]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 穆参军. 新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
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