| 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 | |
| 李四华 ; 吴亚明 | |
| 2011-07-20 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102129125A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 一种基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器17由单个堆叠式二轴微镜驱动器16阵列化排布而成。单个堆叠式二轴微镜驱动器16由下电极结构13，中间电极结构14和上电极结构15共三个独立部件构成。其中三个独立部件由以下结构构成：弯曲悬臂梁1、扭转悬臂梁2、扭转悬臂梁3、台阶下电极4、X轴转动方向基底镜面的限位平面5、台阶下电极的引线锚点6、X轴转动方向基底镜面7、X轴转动方向基底镜面的限位凸点8、Y轴转动方向上镜面支撑锚点9Y轴转动方向上镜面10，Y轴转动方向上镜面的限位凸点11、Y轴转动方向上镜面的电极引 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2011-07-20 |
| 申请日期 | 2011-01-10 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201110003994.9 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48525]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李四华,吴亚明. 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用. CN102129125A. 2011-07-20. |
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