| 大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用 | |
| 吴亚明 ; 李四华 ; 徐静 | |
| 2009-11-25 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101587240 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器及其在光开关中的应用。其特征 在于所述的大角度扭转微镜面驱动器由扭转梁(1)、扭转梁(2)、微镜面(3)、 倾斜下电极(4)，倾斜面(5)、倾斜面(6)、硅基底材料(7)构成；其中， 扭转梁(1)和扭转梁(2)与微镜面(3)相连且对称排列于微镜面(3)的 两侧，微镜面(3)兼作驱动器的上电极，倾斜下电极(4)制作在倾斜面(5) 上，与微镜面(3)构成倾斜电极静电驱动器，倾斜面(5)和倾斜面(6)之 间有一定夹角，两者均制作在基底材料(7)上。作为光开关的应用是采用 TO管 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2009-11-25 |
| 申请日期 | 2009-05-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200910051003.7 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49117]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴亚明,李四华,徐静. 大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用. CN101587240. 2009-11-25. |
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