| 一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法 | |
| 李四华 ; 徐静 ; 吴亚明 | |
| 2009-10-07 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101549848 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器的制作方法，其特征在于①首先 在斜晶向硅片(1)上利用氢氧化钾腐蚀溶液制作出具有一定倾斜角度的倾斜 硅表面(2)和倾斜硅表面(3)；②然后在倾斜硅表面(2)上制作驱动器的 下电极；③接着在另一块硅片的表面制作出扭转镜面驱动器的上电极与下电 极的隔离空间；④两块硅片进行圆片级的键合工艺，得到完整的键合片，再 对键合片的表面进行整体减薄，得到最终的器件层；⑤最后在减薄后的器件 层上制作出扭转镜面驱动器的两端固定的支撑梁、驱动器的上电极和扭转微 镜面；⑥对整个硅片进行划片后得到 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2009-10-07 |
| 申请日期 | 2009-05-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200910051002.2 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49075]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李四华,徐静,吴亚明. 一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法. CN101549848. 2009-10-07. |
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