高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究

	高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
	穆参军 ; 赵本刚 ; 吴亚明
刊名	传感技术学报
	2008
期号	04
关键词	高压器件衬底电流可靠性
ISSN号	1004-1699
中文摘要	扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51551]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	穆参军,赵本刚,吴亚明. 高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究[J]. 传感技术学报,2008(04).
APA	穆参军,赵本刚,&吴亚明.(2008).高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究.传感技术学报(04).
MLA	穆参军,et al."高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究".传感技术学报 .04(2008).