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一种平坦化的工艺方法 专利
专利号: CN201410217592.2, 申请日期: 2018-06-01, 公开日期: 2015-11-25
作者:  李俊峰;  赵超;  杨涛;  刘金彪
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带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列及其制造方法 专利
专利号: CN201210076887.3, 申请日期: 2016-01-06, 公开日期: 2013-09-25
作者:  陈大鹏;  刘瑞文;  焦斌斌
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提高浅沟槽隔离化学机械平坦化均匀性的方法 专利
专利号: CN201110125319.3, 申请日期: 2015-10-21, 公开日期: 2012-11-21
作者:  杨涛;  刘金彪;  李俊峰;  赵超
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一种键合装置 专利
专利号: CN103137508A, 申请日期: 2013-06-05, 公开日期: 2013-06-05
作者:  宋崇申;  郭学平;  万里兮
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基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备 专利
申请日期: 2011-10-13,
作者:  王燕;  石莎莉;  赵章琰;  夏洋;  李勇滔
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一种平板电极固定结构 专利
申请日期: 2011-09-26, 公开日期: 2012-11-20
作者:  张庆钊;  席峰;  李勇滔;  李楠;  夏洋
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一种用于离子中性化的网板结构 专利
申请日期: 2011-09-26, 公开日期: 2012-11-20
作者:  李勇滔;  张庆钊;  席峰;  夏洋;  李楠
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高压器件的外延层制造方法 专利
申请日期: 2011-08-16,
作者:  王红丽;  李俊峰
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一种微型低压气相淀积实验装置 专利
申请日期: 2011-06-20, 公开日期: 2012-11-20
作者:  郭新贺;  景玉鹏;  王磊
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半导体器件制造方法 专利
专利号: CN201110425474.7, 公开日期: 2013-06-19
作者:  赵超;  陈大鹏;  李俊峰;  钟汇才;  罗军
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