| 一种微型低压气相淀积实验装置 | |
| 郭新贺; 景玉鹏; 王磊 | |
| 2011-06-20 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种微型低压气相淀积实验装置。低压气相淀积(lpcvd)是一种用途十分广泛的薄膜沉积技术，这项技术操作较为简单，薄膜的组成和结构可控，制成的薄膜与基体的结合性良好。本发明关键部分以石英为基材，操作简单,可操作性和可视性良好,淀积生成的薄膜致密性好,厚度均匀，与硅基底结合紧密，淀积速度快。该装置小巧灵活，经济实用，而且绿色环保，节省能源。 |
| 公开日期 | 2012-11-20 |
| 状态 | 公开 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/10063]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭新贺,景玉鹏,王磊. 一种微型低压气相淀积实验装置. 2011-06-20. |
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