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基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制 期刊论文
光通信技术, 2012, 期号: 4, 页码: 22-24
刘英明; 徐静; 李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/02/22
一种基于MEMS工艺的可调FP光学滤波器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102225739A, 申请日期: 2011-10-26, 公开日期: 2011-10-26
吴亚明; 翟雷应; 徐静; 李四华; 钟少龙
收藏  |  浏览/下载：149/0  |  提交时间：2012/01/06
一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102200667A, 申请日期: 2011-09-28, 公开日期: 2011-09-28
李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06
基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20
李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/06
集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102103263A, 申请日期: 2011-06-22, 公开日期: 2011-06-22
吴亚明; 李四华
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06
低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/04/13
多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 期刊论文
光学精密工程, 2011, 期号: 08
李四华; 徐静; 龙亮; 钟少龙; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/04/13
基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工 期刊论文
功能材料与器件学报, 2011, 期号: 03
黄占喜; 吴亚明; 李四华
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/04/13
低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10
杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/04/13
低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究 期刊论文
光电子.激光, 2011, 期号: 07
翟雷应; 徐静; 李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/13

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