低热机械噪声的梳齿式加速度计

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	低热机械噪声的梳齿式加速度计
	杨丹琼 ; 徐静 ; 钟少龙 ; 李四华 ; 吴亚明
刊名	仪表技术与传感器
	2011
期号	10
关键词	低噪声加速度计体硅工艺梳齿电容滑膜阻尼
ISSN号	1002-1841
中文摘要	文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不需要制作阻尼孔就能满足低噪声要求。器件采用三层材料,利用硅-玻璃键合和BCB键合实现,能够有效提高成品率,并给出了成功流片后得到的SEM照片。最后,对器件进行了频谱响应曲线的测试,测试得到器件在非真空封装及无阻尼孔情况下Q值高达156.95。测试结果表明该器件的设计简化了制造工艺
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106983]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨丹琼,徐静,钟少龙,等. 低热机械噪声的梳齿式加速度计[J]. 仪表技术与传感器,2011(10).
APA	杨丹琼,徐静,钟少龙,李四华,&吴亚明.(2011).低热机械噪声的梳齿式加速度计.仪表技术与传感器(10).
MLA	杨丹琼,et al."低热机械噪声的梳齿式加速度计".仪表技术与传感器 .10(2011).