基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制

	基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制
	刘英明 ; 徐静 ; 李四华 ; 吴亚明
刊名	光通信技术
	2012
期号	4 页码:22-24
关键词	体硅工艺光栅光阀光学调制器绝缘体上硅消光比
ISSN号	1002-5561
中文摘要	采用体硅微加工工艺制作了一种基于光栅光阀(GLV)的光学调制器,使用仿真软件对器件参数进行了优化设计。对加工出来的器件进行了测试,并对测试结果进行了分析。器件成功的实现了光学调制的功能,采用10kHz的方波信号进行调制时,得到了峰峰值为50mv,响应时间为10μs的调制后波形。
收录类别	CNKI2012-081
语种	中文
公开日期	2013-02-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110976]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘英明,徐静,李四华,等. 基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制[J]. 光通信技术,2012(4):22-24.
APA	刘英明,徐静,李四华,&吴亚明.(2012).基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制.光通信技术(4),22-24.
MLA	刘英明,et al."基于体硅工艺的GLV光学调制器的研制".光通信技术 .4(2012):22-24.