低热机械噪声MEMS加速度计设计

	低热机械噪声MEMS加速度计设计
	杨丹琼 ; 陈志龙 ; 徐静 ; 钟少龙 ; 李四华 ; 吴亚明
刊名	传感器与微系统
	2011
期号	11
关键词	加速度计热机械噪声体硅工艺梳齿电容滑膜阻尼
ISSN号	1000-9787
中文摘要	介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,其理论热机械噪声为0.018μg/槡Hz。加速度计芯片在大气封装和无阻尼孔情况下Q值高达455.06,与理论分析结果相符,具有较低的热机械噪声。
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106982]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨丹琼,陈志龙,徐静,等. 低热机械噪声MEMS加速度计设计[J]. 传感器与微系统,2011(11).
APA	杨丹琼,陈志龙,徐静,钟少龙,李四华,&吴亚明.(2011).低热机械噪声MEMS加速度计设计.传感器与微系统(11).
MLA	杨丹琼,et al."低热机械噪声MEMS加速度计设计".传感器与微系统 .11(2011).