低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究

	低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究
	翟雷应 ; 徐静 ; 李四华 ; 吴亚明
刊名	光电子.激光
	2011
期号	07
关键词	微机电系统(MEMS) Fabry-Pérot(F-P)腔可调光滤波器静电驱动
ISSN号	1005-0086
中文摘要	基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种新颖的光学腔与静电驱动器分离的Fabry-Pérot(F-P)可调谐滤波器。从光学设计、MEMS结构设计、制造工艺与器件测试等开展了F-P可调谐滤波器的研究,成功制备了工作在以1550 nm波长为中心、调谐范围为40 nm和驱动电压低于30 V的MEMS F-P可调滤波器。测试结果表明,其3 dB带宽为0.5 nm,单模光纤准直器封装的插入损耗低于8 dB,为研制实用的F-P可调滤波器奠定了良好的实验基础。
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106978]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	翟雷应,徐静,李四华,等. 低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究[J]. 光电子.激光,2011(07).
APA	翟雷应,徐静,李四华,&吴亚明.(2011).低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究.光电子.激光(07).
MLA	翟雷应,et al."低电压驱动的MEMS F-P可调光学滤波器研究".光电子.激光 .07(2011).