| 一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法 | |
| 李四华 ; 吴亚明 | |
| 2011-09-28 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102200667A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 一种体硅可调谐光学滤波器由体硅调谐腔，高掺杂的体硅电阻加热器，下悬臂梁、上悬臂梁，表面高掺杂的左悬臂梁、表面高掺杂的右悬臂梁，金属导线、应力平衡金属导线、左引线区域，右引线区域和支撑SOI硅基底11构成。其采用高电阻率的SOI硅片并利用体硅加工工艺制作获得。包括：(a)SOI硅片器件层表面制作高掺杂区域；(b)硅片器件层表面溅射金属并制作金属结构；(c)硅片器件层表面制作体硅调谐腔和各悬臂梁结构；(d)从硅片下表面衬底层释放体硅调谐腔及悬臂梁结构；(e)在体硅调谐腔上下表面制作高反射膜，形成光学F-P干涉 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2011-09-28 |
| 申请日期 | 2011-05-06 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201110120151.7 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48583]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李四华,吴亚明. 一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法. CN102200667A. 2011-09-28. |
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