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| 非平衡等离子体辅助甲烷燃烧的机理研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 邬倩倩
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| 氩气电离非平衡等离子体气动效应数值模拟研究 期刊论文
沈阳航空航天大学学报, 2018, 卷号: 35, 页码: 18-22
作者: 张维; 陈雷; 封超; 宋鹏; 杨聪
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| 直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性 期刊论文
物理学报, 2011, 卷号: 60, 页码: 422-428
作者: 牟宗信; 牟晓东; 王春; 贾莉; 董闯
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| 外切磁场对ICP增强非平衡磁控溅射沉积Cu的影响 会议论文
第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20
作者: 齐雪莲; 马腾才
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| 会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置 专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-07-08
作者: 任春生; 张家良; 王德真; 王友年
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| 辅助磁场约束非平衡磁控溅射等离子体放电特性研究 学位论文
: 大连理工大学, 2008
作者: 麻冰欣
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| 联合分析在常压介质阻挡放电离子渗扩工艺参数研究中的应用 期刊论文
数理统计与管理, 2006, 卷号: 25, 页码: 132-137
作者: 杨毅; 董大海; 严立
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| 高密度等离子体增强非平衡磁控溅射沉积Cu膜研究 期刊论文
大连理工大学学报, 2006, 卷号: 46, 页码: 473-477
作者: 齐雪莲; 任春生; 马腾才; 刘峰
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| 射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术 期刊论文
真空, 2006, 卷号: 43, 页码: 9-12
作者: 齐雪莲; 任春生; 马腾才
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| 射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术 会议论文
TFC'05全国薄膜技术学术研讨会, 中国大连, 2005-09-01
作者: 齐雪莲; 任春生
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