| 直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性 | |
| 牟宗信; 牟晓东; 王春; 贾莉; 董闯 | |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 60页码:422-428 |
| 关键词 | 放电 脉冲技术 |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4833147 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 三束材料改性教育部重点实验室,大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 牟宗信,牟晓东,王春,等. 直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性[J]. 物理学报,2011,60:422-428. |
| APA | 牟宗信,牟晓东,王春,贾莉,&董闯.(2011).直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性.物理学报,60,422-428. |
| MLA | 牟宗信,et al."直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性".物理学报 60(2011):422-428. |
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