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| 小尺寸鳍形结构的制造方法 专利 专利号: CN201110261527.6, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-03-20 作者: 杨涛 ; 赵超 ; 李俊峰 ; 卢一泓![](/image/person.jpg)
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| 一种可提高图形深宽比的纳米压印方法及其产品 专利 专利号: CN102910579A, 申请日期: 2013-02-06, 公开日期: 2013-02-06 作者: 王智浩; 刘文; 孙堂友; 左强
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| 一种Mo基/TaN金属栅叠层结构的刻蚀方法 专利 申请日期: 2010-06-30, 作者: 李永亮; 徐秋霞
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| 一种插入式TiN金属栅叠层结构的制备和刻蚀方法 专利 申请日期: 2010-04-21, 作者: 李永亮; 徐秋霞
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| 一种选择性去除TaN金属栅电极层的方法 专利 申请日期: 2009-09-25, 公开日期: 2016-03-18 作者: 李永亮; 徐秋霞
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| 光元件及其制造方法 专利 专利号: CN100409515C, 申请日期: 2008-08-06, 公开日期: 2008-08-06 作者: 名川伦郁; 金子刚
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| 一种耐磨减磨层的复合镀工艺 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 1992-06-10, 公开日期: 1992-06-10 姜晓霞, 赵洪星 and 田云川
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