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小尺寸鳍形结构的制造方法 专利
专利号: CN201110261527.6, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-03-20
作者:  杨涛;  赵超;  李俊峰;  卢一泓
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一种可提高图形深宽比的纳米压印方法及其产品 专利
专利号: CN102910579A, 申请日期: 2013-02-06, 公开日期: 2013-02-06
作者:  王智浩;  刘文;  孙堂友;  左强
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一种Mo基/TaN金属栅叠层结构的刻蚀方法 专利
申请日期: 2010-06-30,
作者:  李永亮;  徐秋霞
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一种插入式TiN金属栅叠层结构的制备和刻蚀方法 专利
申请日期: 2010-04-21,
作者:  李永亮;  徐秋霞
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一种选择性去除TaN金属栅电极层的方法 专利
申请日期: 2009-09-25, 公开日期: 2016-03-18
作者:  李永亮;  徐秋霞
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光元件及其制造方法 专利
专利号: CN100409515C, 申请日期: 2008-08-06, 公开日期: 2008-08-06
作者:  名川伦郁;  金子刚
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一种耐磨减磨层的复合镀工艺 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 1992-06-10, 公开日期: 1992-06-10
姜晓霞, 赵洪星 and 田云川
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