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采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法 专利
专利号: CN201210062362.4, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-09-18
作者:  卢狄克;  李志刚;  刘瑞文;  陈大鹏;  尚海平
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CMOS及其制造方法 专利
专利号: CN201210083460.6, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-10-23
作者:  殷华湘;  马小龙;  徐秋霞;  陈大鹏
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小尺寸鳍形结构的制造方法 专利
专利号: CN201110261527.6, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-03-20
作者:  杨涛;  赵超;  李俊峰;  卢一泓
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后栅工艺移除多晶硅假栅制程的监控方法 专利
专利号: CN201110149722.X, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2012-12-05
作者:  杨涛;  赵超;  李俊峰;  闫江;  陈大鹏
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一种SiC结势垒肖特基二极管及其制作方法 专利
专利号: CN201210483461.X, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-03-27
作者:  史晶晶;  白云;  刘可安;  申华军;  汤益丹
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一种非易失性存储器及其制备方法 专利
专利号: CN201210026223.6, 申请日期: 2015-12-02, 公开日期: 2013-08-14
作者:  谢常青;  霍宗亮;  朱晨昕;  许中广;  刘明
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一种半导体结构及其制造方法 专利
专利号: CN201110298318.9, 申请日期: 2015-11-25, 公开日期: 2013-04-10
作者:  尹海洲;  朱慧珑;  骆志炯
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一种半导体结构及其制造方法 专利
专利号: CN201110297623.6, 申请日期: 2015-11-25, 公开日期: 2013-04-10
作者:  尹海洲;  朱慧珑;  骆志炯
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一种双鳍型半导体结构及其制造方法 专利
专利号: CN201110306988.0, 申请日期: 2015-11-25, 公开日期: 2013-04-17
作者:  朱慧珑;  尹海洲;  骆志炯
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低源漏接触电阻MOSFETS及其制造方法 专利
专利号: CN201110264987.4, 申请日期: 2015-11-25, 公开日期: 2013-03-27
作者:  罗军;  赵超
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