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一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710574908.7, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-09-29
作者:  侯煜;  刘嵩;  张紫辰
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2019/03/12
一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法 专利
专利号: CN201310695413.1, 申请日期: 2018-07-13, 公开日期: 2015-06-17
作者:  王文东;  夏洋;  李楠
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2019/03/12
基于BCl3/Cl2/Ar气体的ICP刻蚀技术对于GaN HEMT器件肖特基性能的改进 会议论文
作者:  陈晓娟;  王鑫华;  魏珂;  郑英奎;  樊捷
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基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者:  王玮冰;  陈大鹏;  孙西龙;  刘卫兵;  明安杰
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粗糙度对金属_陶瓷反应润湿体系高温润湿性的影响 期刊论文
材料热处理学报, 2016
作者:  常玲玲
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三维半导体器件制造方法 专利
申请日期: 2014-05-16,
作者:  霍宗亮
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2018/04/27
基于浅沟道隔离技术的化学机械研磨终点检测方法及系统 专利
专利号: CN201110335135.X, 申请日期: 2014-04-02, 公开日期: 2012-03-28
作者:  叶甜春;  陈岚;  徐勤志;  阮文彪
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一种碳基半导体器件制备工艺中对衬底进行预处理的方法 专利
专利号: CN103456607A, 申请日期: 2013-12-18,
作者:  史敬元;  金智;  张大勇;  麻芃;  彭松昂
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2018/02/07
一种提高碳基半导体器件迁移率的衬底处理方法 专利
专利号: CN103441223A, 申请日期: 2013-12-11,
作者:  麻芃;  彭松昂;  张大勇;  金智;  史敬元
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2017/05/27
原子层沉积法 生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究 期刊论文
物理学报, 2013
作者:  董亚斌;  夏洋
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2014/10/22


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