一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法

	一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法
	王文东; 夏洋; 李楠
	2018-07-13
著作权人	中国科学院微电子研究所 ; 北京美桥电子设备有限公司
专利号	CN201310695413.1
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及半导体刻蚀机内衬及石英表面防蚀处理技术领域，具体涉及一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤（1），选择碳化硼粉末，并将碳化硼粉末送入等离子喷涂设备；步骤（2），对待喷涂的石英基材的表面进行Ti离子注入处理，然后使用丙酮和无水乙醇对石英基材的表面进行清洗；步骤（3），通过等离子喷涂设备在石英基材的表面进行等离子喷涂，制备出碳化硼涂层。本发明在石英基材表面进行Ti离子注入处理，增大了石英基材表面的粗糙度，从而可以提高碳化硼涂层与石英基材之间的界面结合强度。
公开日期	2015-06-17
申请日期	2013-12-17
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.107/handle/172511/18690]
专题	微电子研究所_微电子仪器设备研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王文东,夏洋,李楠. 一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法. CN201310695413.1. 2018-07-13.