原子层沉积法 生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究

	原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究
	董亚斌; 夏洋
刊名	物理学报
	2013-04-08
英文摘要	介绍了新型材料ZnO的各项性能,并采用原子层沉积方法制备新型材料ZnO. 实验中采用二乙基锌(DEZn) 和水作为生长ZnO的前驱体源, 在蓝宝石衬底上生长ZnO; 采用氮气作为载气, 生长温度为180℃. 通过改变在实验中的通入锌源的时间, 探索不同的DEZn的源的量对薄膜的成分(Zn/O)、薄膜的厚度、生长速率、晶型、表面形貌、三维形貌以及粗糙度的影响.
公开日期	2014-10-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/11862]
专题	微电子研究所_微电子仪器设备研发中心
通讯作者	夏洋
推荐引用方式 GB/T 7714	董亚斌,夏洋. 原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究[J]. 物理学报,2013.
APA	董亚斌,&夏洋.(2013).原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究.物理学报.
MLA	董亚斌,et al."原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究".物理学报 (2013).