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| 激光拉曼光谱技术现场研究硅的刻蚀 学位论文
2017, 1998
刘峰名
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/06/20
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| ICP刻蚀InGaAs的微观损伤机制研究 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 卷号: 42, 期号: 8
作者: 程吉凤; 朱耀明; 唐恒敬; 李雪; 邵秀梅
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2014/11/05
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| 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关研究 学位论文
长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2007
作者: 孔庆峰
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/03/21
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| 利用普通紫外光深刻层光刻的分离曝光工艺方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-10-06, 公开日期: 2004-10-06
廖新胜; 刘云; 王立军
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/08/29 |
| 激光拉曼光谱技术现场研究硅的刻蚀 学位论文
2002, 2000
刘峰名
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2016/02/14 |
| 新型LIGA掩模板制造工艺研究 期刊论文
高能物理与核物理, 2001, 期号: S1, 页码: 131-134
作者: 陈迪; 朱军; 雷蔚; 王水; 张大成
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2015/12/25
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| 新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究 其他
2000-01-01
陈迪; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷; 李昌敏; 郭晓芸; 毛海平
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/11/12
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| 非硅三维微加工新技术-DEM技术 其他
1999-01-01
陈迪; 雷蔚; 丁桂甫; 张大成
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/11/12
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| DEM技术研究 期刊论文
微细加工技术, 1998
陈迪; 张大成; 丁桂甫; 赵小林; 章吉良; 杨春生; 蔡炳初; 武国英
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/11/12
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