新型LIGA掩模板制造工艺研究

	新型LIGA掩模板制造工艺研究
	陈迪; 朱军; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷（
刊名	高能物理与核物理
	2001
期号	S1 页码:131-134
关键词	LIGA掩模板 ICP深刻蚀 LIGA技术
其他题名	Study on New Type LIGA Mnssk Fabrication Technique
中文摘要	LIGA掩模板的制备是LIGA技术中的关键工艺,利用最近发展起来的硅感应耦合等离子体(ICP)深层刻蚀工艺开发出了新型LIGA掩模板.与其它类型的LIGA掩模板相比,该掩模板具有加工工艺简单、价格低廉等优点.利用该LIGA掩模板进行了LIGA技术的研究,得到了比较理想的结果.
公开日期	2016-02-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/223081]
专题	高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	陈迪,朱军,雷蔚,等. 新型LIGA掩模板制造工艺研究[J]. 高能物理与核物理,2001(S1):131-134.
APA	陈迪,朱军,雷蔚,王水,张大成,&伊福廷.(2001).新型LIGA掩模板制造工艺研究.高能物理与核物理(S1),131-134.
MLA	陈迪,et al."新型LIGA掩模板制造工艺研究".高能物理与核物理 .S1(2001):131-134.