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| 基于无掩模光刻的高精度ITO电极加工工艺研究 期刊论文
2019
作者: 殷艺; 刘志坚; 王赛杰; 武森; 严志军
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/12/26
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| 痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502
作者: 王军
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394
作者: 焦庆斌
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文
长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292
作者: 焦庆斌
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒 期刊论文
人工晶体学报, 2015, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 1748-1753
作者: 丁彬; 程现铁; 徐国庆; 张宏
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 超声波震荡法及润湿性增强法对单晶硅阶梯光栅闪耀面粗糙度的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 3, 页码: 53-59
焦庆斌; 巴音贺希格; 谭鑫; 李艳茹; 朱继伟; 吴娜
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKGJ200608018&dbname=CJFQ2006, 2012, 2012
林国树; 李晓莹; 乔大勇; 苑伟政
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 湿法刻蚀对Si基片孔点阵及ZnO外延薄膜周期形貌的影响 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=WLXB200901047&dbname=CJFQ2009, 2012, 2012
崔秀芝; 张天冲; 梅增霞; 刘章龙; 刘尧平; 郭阳; 苏希玉; 薛其坤; 杜小龙
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2017/06/15
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| 基于Logistic回归的湿法刻蚀腔体气流场参数分析 期刊论文
机械设计与制造, 2012, 期号: 6, 页码: 223-225
作者: 王靖震 ; 刘伟军
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/10/24
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| 两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术 期刊论文
2012, 卷号: 26, 期号: 18, 页码: 7-9
作者: 周章渝; 杨发顺; 杨健; 王松; 邓朝勇
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/02
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