| 基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒 | |
| 丁彬; 程现铁; 徐国庆; 张宏 | |
| 刊名 | 人工晶体学报
 |
| 2015 | |
| 期号 | [db:dc_citation_issue]页码:1748-1753 |
| 关键词 | 表面制绒 湿法刻蚀 负性光刻胶 光刻法 多晶硅太阳能电池 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| DOI | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3259055 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁彬,程现铁,徐国庆,等. 基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒[J]. 人工晶体学报,2015([db:dc_citation_issue]):1748-1753. |
| APA | 丁彬,程现铁,徐国庆,&张宏.(2015).基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒.人工晶体学报([db:dc_citation_issue]),1748-1753. |
| MLA | 丁彬,et al."基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒".人工晶体学报 .[db:dc_citation_issue](2015):1748-1753. |
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