两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术 | |
周章渝; 杨发顺; 杨健; 王松; 邓朝勇; 傅兴华 | |
2012 | |
卷号 | 26期号:18页码:7-9 |
关键词 | MgB2超导薄膜 布图布线 湿法刻蚀 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6237656 |
专题 | 贵州大学 |
作者单位 | 1.[1]贵州大学理学院,贵阳550025 2.[2]贵州省微纳电子与软件技术重点实验室,贵阳550025 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 周章渝,杨发顺,杨健,等. 两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术[J],2012,26(18):7-9. |
APA | 周章渝,杨发顺,杨健,王松,邓朝勇,&傅兴华.(2012).两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术.,26(18),7-9. |
MLA | 周章渝,et al."两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术".26.18(2012):7-9. |
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