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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：山东大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Density functional theory calculations for the microsolvation of M3+-zwitterionic glycine complexes (M3+ = Al3+, Ga3+, In3+) 期刊论文 CHEMICAL PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 537, 页码: 101-106 作者:  Xu, Maojie;  Dou, Xiaoming;  Bu, Yuxiang;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/23 An Accurate In-Fixture Measurement Method for AlN Film Bulk Acoustic Resonators 会议论文 4th International Symposium on Information Science and Engineering (ISISE), DEC 14-16, 2012 作者:  Xu, Hang;  Su, Yanjie;  Yang, Hanlin;  Xu, Dong;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/31 in-fixture  FBAR  de-embedding  real-time  accurate measurement   An accurate in-fixture measurement method for AlN film bulk acoustic resonators 会议论文 2012 4th International Symposium on Information Science and Engineering, ISISE 2012, December 14, 2012 - December 16, 2012 作者:  Xu, Hang;  Su, Yanjie;  Yang, Hanlin;  Xu, Dong;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31 The influence of defects and impurities in polycrystalline AlN films on the violet and blue photoluminescence 期刊论文 VACUUM, 2009, 卷号: 83, 期号: 5, 页码: 865-868 作者:  Chen, Da;  Wang, Jingjing;  Xu, Dong;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/26 Aluminum nitride films  Sputtering  Photoluminescence   The influence of the AIN film texture on the wet chemical etching 期刊论文 MICROELECTRONICS JOURNAL, 2009, 卷号: 40, 期号: 1, 页码: 15-19 作者:  Chen, Da;  Wang, Jingjing;  Xu, Dong;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/26 Aluminum nitride  Film texture  Wet chemical etching  Anisotropy   Investigation of chemical etching of AlN film with different textures by x-ray photoelectron spectroscopy 期刊论文 JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2008, 卷号: 41, 期号: 23 作者:  Chen, Da;  Xu, Dong;  Wang, Jingjing;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/26 Dry etching of AlN films using the plasma generated by fluoride 期刊论文 VACUUM, 2008, 卷号: 83, 期号: 2, 页码: 282-285 作者:  Chen, Da;  Xu, Dong;  Wang, Jingjing;  Zhao, Bo;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/26 AlN  Dry etching  F-based plasma  MEMS   Influence of the texture on Raman and X-ray diffraction characteristics of polycrystalline AlN films 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2008, 卷号: 517, 期号: 2, 页码: 986-989 作者:  Chen, Da;  Xu, Dong;  Wang, Jingjing;  Zhao, Bo;  Zhang, Yafei 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/26 Aluminum nitride  Reactive sputtering  Phonon mode  X-ray diffraction  Raman scattering  Residual stress