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Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene 期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960
Zhang, YW; Wan, L; Cheng, XH; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Jia, TT; Yu, YH
收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2013/04/17
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/04/17
Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105
Wang, ZJ; Cheng, XH; He, DW; Xia, C; Xu, DW; Yu, YH; Zhang, D; Wang, YY; Lv, YQ; Gong, DW; Shao, K
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2013/04/17
Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene 期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960
Zhang, YW; Wan, L; Cheng, XH（重点实验室）; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Jia, TT; Yu, YH（重点实验室）
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/05/10
Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18
Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/05/10
Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105
Wang, ZJ; Cheng, XH（重点实验室）; He, DW; Xia, C; Xu, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhang, D; Wang, YY; Lv, YQ; Gong, DW; Shao, K
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/05/10
Characterization of NbAlO dielectric film deposited on InP 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A803
He,DW; Cheng,XH; Xu,DW; Wang,ZJ; Yu,YH; Sun,QQ; Zhang,DW
收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2012/04/10
An analytical model for coplanar waveguide on silicon-on-insulator substrate with conformal mapping technique 期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 10210
He,DW; Cheng,XH程新红; Wang,ZJ; Xu,DW; Song,ZR; Yu,YH
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/10
Interfacial properties of HfO(2) dielectric film on Ge substrate 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A802
He, DW; Cheng, XH（重点实验室）; Xu, DW; Wang, ZJ; Yu, YH（重点实验室）; Sun, QQ; Zhang, DW
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2013/05/10
Characterization of NbAlO dielectric film deposited on InP 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A803
He, DW; Cheng, XH（重点实验室）; Xu, DW; Wang, ZJ; Yu, YH（重点实验室）; Sun, QQ; Zhang, DW
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/05/10

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