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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2006 [1]
2000 [1]
1995 [1]
1993 [1]
1991 [1]
学科主题
Instrument... [5]
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Research on nitrogen implantation energy dependence of the properties of SIMON materials
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2006, 卷号: 242, 期号: 1-2, 页码: 585-587
Zhang, EX
;
Sun, JY
;
Chen, J
;
Chen, M
;
Zhang, ZX
;
Li, N
;
Zhang, GQ
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
CHARGE
OXYGEN
OXIDES
LAYERS
Structural and electrical characteristics of oxygen-implanted 6H-SiC
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 页码: 1-5
Wang, LW
;
Huang, JP
;
Duo, XZ
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Zetterling, CM
;
Ostling, M
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
ENHANCED THERMAL-OXIDATION
SILICON-CARBIDE
ION-IMPLANTATION
AMORPHIZATION
LAYERS
CONTROL OF DEFECTS IN C+, GE+, AND ER+ IMPLANTED SI USING POST AMORPHIZATION AND SOLID-PHASE REGROWTH
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1995, 卷号: 96, 期号: 1-2, 页码: 265-270
CRISTIANO, F
;
ZHANG, JP
;
WILSON, RJ
;
GILLIN, WP
;
HEMMENT, PLF
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/25
REDUCTION
CARBON
SILICON
LAYERS
ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF THIN-FILM SIMOX STRUCTURES
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1993, 卷号: 74, 期号: 1-2, 页码: 218-221
ZHU, WH
;
LIN, CL
;
SHI, ZY
;
Zou, SC(邹世昌)
;
HEMMENT, PLF
;
NEJIM, A
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/25
SILICON
LAYERS
ANALYSIS OF ELECTRICAL-PROPERTIES OF BURIED NITRIDE FORMED BY HIGH-DOSE N+ IMPLANTATION
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1991, 卷号: 59, 页码: 690-692
ZHANG, SK
;
LIN, CL
;
ZHOU, ZY
;
Zou, SC(邹世昌)
收藏
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提交时间:2012/03/25
SILICON
LAYERS
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