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科研机构
北京大学 [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2006 [1]
2005 [2]
2004 [3]
2003 [1]
2002 [1]
2001 [1]
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内容类型:期刊论文
专题:北京大学
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超薄SiO2软击穿后I-V特性的饱和性质
期刊论文
半导体学报, 2006
许铭真
;
谭长华
;
段小蓉
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
超薄SiO2 软击穿 I-V饱和特性
硅衬底注氮方法制备超薄SiO2栅介质
期刊论文
半导体学报, 2005
许晓燕
;
程行之
;
黄如
;
张兴
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/11
超薄栅介质 氮离子注入 击穿特性 ultrathin gate dielectric nitrogen implantation breakdown
超薄栅氧化层n-MOSFET软击穿后的导电机制
期刊论文
物理学报, 2005
王彦刚
;
许铭真
;
谭长华
;
段小蓉
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
软击穿 栅电流 类Fowler-Nordheim隧穿 超薄栅氧化层
soft breakdown
gate current
Fowler
Nordheim-like tunneling
ultra-thin gate oxide
HfO2高K栅介质薄膜的电学特性研究
期刊论文
固体电子学研究与进展, 2004
韩德栋
;
康晋锋
;
刘晓彦
;
韩汝琦
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
高介电常数栅介质
二氧化铪薄膜
电学特性
多晶硅注氮制备4.6nm超薄栅介质
期刊论文
半导体学报, 2004
谭静荣
;
许晓燕
;
黄如
;
程行之
;
张兴
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/12
注氮 应力诱生泄漏电流 电介质击穿
超薄SiO2栅介质厚度提取与分析
期刊论文
半导体学报, 2004
谭静荣
;
许晓燕
;
黄如
;
程行之
;
张兴
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
超薄栅介质 量子效应 多晶硅耗尽效应 栅氧厚度
氮注入多晶硅栅对超薄SiO2栅介质性能的影响
期刊论文
半导体学报, 2003
许晓燕
;
谭静荣
;
黄如
;
张兴
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
栅介质
氮注入
硼扩散
3.4nm超薄SiO2栅介质的特性
期刊论文
电子学报, 2002
许晓燕
;
谭静荣
;
高文钰
;
黄如
;
田大宇
;
张兴
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提交时间:2015/10/23
超薄栅介质
软击穿
硼扩散
3-6nm超薄SiO2栅介质的特性
期刊论文
半导体学报, 2001
高文钰
;
张兴
;
田大宇
;
张大成
;
王阳元
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提交时间:2015/10/23
超薄栅介质
软击穿
完整性
漏电流
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