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一种等离子体辅助磁控溅射沉积方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201210358823.2, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-03-26
李刚;  孙龙;  金玉奇
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一种III-V族半导体镍金属化制造方法 专利
申请日期: 2011-12-20, 公开日期: 2012-11-20
作者:  刘洪刚;  王虹;  卢力;  常虎东;  孙兵
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锗衬底上制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管方法 专利
申请日期: 2011-04-12,
作者:  胡爱斌;  许高博;  徐秋霞
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微电子封装中焊料凸点连接金属化层及应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-05-06, 公开日期: 2009-05-06
祝清省, 郭建军, 张新房, 张磊, 郭敬东 and 尚建库
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一种在锗衬底上制备金属-氧化物-半导体电容的方法 专利
申请日期: 2009-02-09, 公开日期: 2016-03-18
作者:  胡爱斌;  徐秋霞
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一种纳米尺度W/TiN复合难熔金属栅制备方法 专利
专利号: CN101217112, 申请日期: 2007-01-04, 公开日期: 2008-07-09, 2010-11-26
作者:  李瑞钊;  徐秋霞
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壳聚糖硫酸酯金属配合物及其制备方法 专利
专利号: ZL200410050352.4, 申请日期: 2006-11-08, 公开日期: 2011-07-15
作者:  李鹏程;  刘松;  邢荣娥;  于华华;  郭占勇
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一种适用于纳米器件制造的硅化物工艺 专利
专利号: CN1754860, 申请日期: 2004-09-29, 公开日期: 2006-04-05, 2010-11-26
作者:  柴淑敏;  徐秋霞;  王大海
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用于MOS器件的金属栅极结构及其制作方法 专利
专利号: CN200910303980.1, 公开日期: 2009-12-09
作者:  陈大鹏;  王文武;  陈世杰
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