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基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20
李四华; 吴亚明
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大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101587240, 申请日期: 2009-11-25, 公开日期: 2009-11-25
吴亚明; 李四华; 徐静
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一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101549848, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
李四华; 徐静; 吴亚明
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一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1912646, 申请日期: 2007-02-14, 公开日期: 2007-02-14
吴亚明; 刘玉菲; 李四华; 万助军
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一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1844938, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2006-10-11
吴亚明; 赵本刚; 徐静; 刘玉菲; 高翔; 李四华
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一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1587022, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
李四华; 吴亚明
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