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科研机构
上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
专利 [6]
发表日期
2011 [1]
2009 [2]
2007 [1]
2006 [1]
2005 [1]
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基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20
李四华
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2012/01/06
大角度扭转微镜面驱动器及其在光开关中的应用
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101587240, 申请日期: 2009-11-25, 公开日期: 2009-11-25
吴亚明
;
李四华
;
徐静
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/01/06
一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101549848, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
李四华
;
徐静
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:487/0
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提交时间:2012/01/06
一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1912646, 申请日期: 2007-02-14, 公开日期: 2007-02-14
吴亚明
;
刘玉菲
;
李四华
;
万助军
收藏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2012/01/06
一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1844938, 申请日期: 2006-10-11, 公开日期: 2006-10-11
吴亚明
;
赵本刚
;
徐静
;
刘玉菲
;
高翔
;
李四华
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/01/06
一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1587022, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
李四华
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/01/06
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