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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
  收藏 | 浏览/下载：59/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 同步辐射的基本知识 第五讲 同步辐射中的成像术及其应用(二) 期刊论文
理化检验(物理分册), 2009, 期号: 10
杨传铮; 程国峰; 黄月鸿
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作 期刊论文
功能材料与器件学报, 2009, 期号: 01
明安杰; 李铁; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：45/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器 期刊论文
固体电子学研究与进展, 2009, 期号: 01
毛健; 车录锋; 林友玲; 李玉芳; 周晓峰; 熊斌; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文
传感技术学报, 2008, 期号: 02
徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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| “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王育才
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2012/03/06
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| SnO2纳米结构与BaZrxTi1-xO3铁电移相器 学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
应战
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计 期刊论文
半导体学报, 2007, 期号: 05
王育才; 焦继伟; 段飞; 张颖; 宓斌玮; 李金鹏; 钱清; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 微机械陀螺结构形状自组织优化方法 期刊论文
机械工程学报, 2007, 期号: 07
刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 一种硅四层键合的高对称电容式加速度传感器 期刊论文
半导体学报, 2007, 期号: 10
徐玮鹤; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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