一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计

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	一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计
	王育才 ; 焦继伟 ; 段飞 ; 张颖 ; 宓斌玮 ; 李金鹏 ; 钱清 ; 王跃林
刊名	半导体学报
	2007
期号	05
关键词	相变存储器 W亚微米管加热电极电学性能疲劳特性
ISSN号	0253-4177
中文摘要	提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2·08kHz,品质因子Q为21·4,灵敏度为93·7mV/g.
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51333]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王育才,焦继伟,段飞,等. 一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计[J]. 半导体学报,2007(05).
APA	王育才.,焦继伟.,段飞.,张颖.,宓斌玮.,...&王跃林.(2007).一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计.半导体学报(05).
MLA	王育才,et al."一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计".半导体学报 .05(2007).