大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作

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	大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作
	明安杰 ; 李铁 ; 王跃林
刊名	功能材料与器件学报
	2009
期号	01
关键词	MH/Ni电池电极活性材料微结构导电机制 XRD
ISSN号	1007-4252
中文摘要	文章提出了一种大位移低驱动电压的MEMS静电梳齿驱动器,对器件进行了设计、模拟、制作以及测试。梳齿驱动器的侧向不稳定性即侧向吸合现象限制了梳齿驱动器的最大驱动位移,发现侧向稳定因子S,随支撑梁刚度比ky/kx以及梳齿间隙g的增加而增加,随梳齿交叠长度的增加而减小;而驱动器的驱动电压随梳齿间隙的增加而升高。在以上研究的基础上,提出了一种采用小间隙无初始交叠、长度线性递增梳齿结构和高纵/横向刚度比的预弯曲支撑梁结构的梳齿驱动器。器件测试结果表明,驱动电压71V时,可以达到100μm的驱动位移,进一步测试表明,
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52036]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	明安杰,李铁,王跃林. 大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作[J]. 功能材料与器件学报,2009(01).
APA	明安杰,李铁,&王跃林.(2009).大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作.功能材料与器件学报(01).
MLA	明安杰,et al."大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作".功能材料与器件学报 .01(2009).