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科研机构
北京大学 [11]
内容类型
期刊论文 [6]
其他 [5]
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2009 [2]
2006 [2]
2005 [3]
2004 [4]
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Evalution of Bulk Titanium DRIE Using SU-8 As Soft Mask
其他
2009-01-01
Zhao, Gang
;
Tian, Yao
;
Shu, Qiong
;
Chen, Jing
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/10
Titanium
DRIE
SU-8
softmask
profile
Wafer level bulk titanium ICP etching using SU8 as an etching mask
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2009
Zhao, Gang
;
Shu, Qiong
;
Tian, Yao
;
Zhang, Yiming
;
Chen, Jing
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/10
FABRICATION
Characterization and attenuation mechanism of CMOS-compatible micromachined edge-suspended coplanar waveguides on low-resistivity silicon substrate
期刊论文
2006
Leung, Lydia L. W.
;
Hon, Wai-Cheong
;
Zhang, Jinwen
;
Chen, Kevin J.
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/16
current crowding
edge-suspended coplanar waveguide (CPW)
inductively coupled plasma deep reactive ion etching (ICP-DRIE)
micromachining
proximity effect
tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) anisotropic silicon etching
LINES
INTERCONNECTS
COMPONENTS
INDUCTORS
An improved 3D simulator for MEMS processes
其他
2006-01-01
Tan, Yiyong
;
Li, Zhihong
;
Wang, Lei
;
Lu, Guizhang
;
Zha, Xin
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/11/16
MEMS
process
3D simulator
ICP
3-DIMENSIONAL TOPOGRAPHY SIMULATION
LITHOGRAPHY
ALGORITHMS
CMOS-compatible micromachining techniques for fabricating high-performance edge-suspended RF microwave passive components on silicon substrate
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2005
Zhang, JW
;
Hon, WC
;
Leung, LLW
;
Chen, KJ
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2015/11/16
SPIRAL INDUCTORS
TMAH
SI
Trench profile control of silicon DRIE process on ICP tools
期刊论文
zhongguo jixie gongchengchina mechanical engineering, 2005
Chen, Jing
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/17
基于硅材料的微型气体涡轮机中微型燃烧器的设计和加工
期刊论文
纳米技术与精密工程, 2005
单学传
;
金玉丰
;
王振峰
;
前田龙太郎
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/12
微型燃烧器
气体涡轮发动机
燃料喷射
干刻蚀
micro combustor
gas turbine engine
fuel injection
deep reactive ion etching
CMOS-compatible micromachined edge-suspended spiral inductors with high Q-factors and self-resonance frequencies
期刊论文
ieee electron device letters, 2004
Chen, KJ
;
Hon, WC
;
Zhang, JW
;
Leung, LLW
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/12
current crowding
edge-suspended inductors
ICP-DRIE etching
micromachining
proximity effect
tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) anisotropic silicon etching
SILICON
COPPER
TECHNOLOGY
Test structures and DRIE topography for bulk silicon MEMS devices
其他
2004-01-01
Ruan, Y
;
Zhang, DC
;
He, XF
;
Wang, YY
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/16
MEMS
DRIE
ICP
bonding strength
BULK silicon
Vertical profiles and CD loss control in deep RIE technology
其他
2004-01-01
Liu, XS
;
Wang, CW
;
Zhu, Y
;
Yan, GZ
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
anisotropy parameter
deep RIE
ICP
MEMS
CD loss
DRIE
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