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光斑位置检测系统中数字锁相放大器的设计与实现 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者:  张辉
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LTR系列激光调阻机研发及产业化 成果
吉林省科学技术进步奖: 一等奖, 2012
汤建华; 孙继凤; 郭晓光; 刘立峰; 田兴志; 何惠阳; 赵双全; 王长山; 王洋; 张德龙; 王忠生; 刘伟; 张培; 田学光; 徐丽萍
收藏  |  浏览/下载:75/0  |  提交时间:2015/02/12
激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2012-03-21
孙继凤; 刘立峰; 郭晓光; 汤建华; 田兴志
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/08/29
激光调阻机探针保护装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2011-11-30
刘立峰; 孙继凤; 张德龙; 汤建华; 吴玉斌
收藏  |  浏览/下载:44/0  |  提交时间:2012/08/29
激光调阻机自动换片机构 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
刘立峰; 孙继凤; 张德龙; 汤建华; 吴玉斌
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2012/08/29
绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-20, 公开日期: 2011-04-20
孙继凤; 刘立峰; 王忠生; 汤建华; 田兴志
收藏  |  浏览/下载:41/0  |  提交时间:2012/08/29
绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 专利
专利号: CN101718958A, 申请日期: 2010-06-02, 公开日期: 2010-06-02
作者:  孙继凤;  刘立峰;  王忠生;  汤建华;  田兴志
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2019/12/31
基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究 期刊论文
电子器件, 2008, 期号: 3
王志娟; 郑玉彤; 闫晓东; 汤建华
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激光调阻机光束质量测量方法研究 学位论文
长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2008
作者:  雷明明
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基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究 期刊论文
中央民族大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 4
王志娟; 郑玉彤; 汤建华
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/09/25


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