| 激光调阻机探针保护装置 (发明) | |
| 刘立峰 ; 孙继凤 ; 张德龙 ; 汤建华 ; 吴玉斌 | |
| 2011-11-30 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及对激光调阻机的改造，具体涉及一种激光调阻机探针保护装置，包括在激光调阻机的探针系统基座上设置一能反馈探针架上下行程位置的光电反射式传感器和与该光电反射式传感器控制连接的继电器，所述的继电器串联在运动控制器与光刻平台电机驱动器的控制电路上，当探针架处于下压位置时，所述的光电反射式传感器输出高电平，继电器断开；当…… |
| 公开日期 | 2011-11-30 |
| 专利申请号 | 200910217998.X |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11666]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘立峰,孙继凤,张德龙,等. 激光调阻机探针保护装置 (发明). 2011-11-30. |
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