| 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 (发明) | |
| 孙继凤 ; 刘立峰 ; 王忠生 ; 汤建华 ; 田兴志 | |
| 2011-04-20 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Ｆθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振…… |
| 公开日期 | 2011-04-20 |
| 专利申请号 | 200910217899.1 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11682]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙继凤,刘立峰,王忠生,等. 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 (发明). 2011-04-20. |
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