| 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 | |
| 孙继凤; 刘立峰; 王忠生; 汤建华; 田兴志 | |
| 2010-06-02 | |
| 著作权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 专利号 | CN101718958A |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法 |
| 英文摘要 | 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法，本发明属于半导体器件的激光精细加工领域，涉及绿色半导体激光器输出的脉冲激光束经过Fθ聚焦透镜时，产生非线性像差的补偿控制技术。控制系统由光刻控制器、激光器、扫描振镜、聚焦透镜、工作台等。各单元的连接关系：激光器输出光送给扫描振镜，光刻控制器控制激光器输出绿色激光和扫描振镜的偏转角，经偏转后的激光再传送给聚焦透镜，激光经过聚焦透镜后聚焦于工作台面上。本发明的优点是，采用非线性像差补偿校正算法，根据非线性畸变量控制双振镜扫描角度，补偿Fθ聚焦透镜造成的非线性像差，解决了激光调阻中因透镜像差造成的光刻定位不准的问题，实现了小尺寸片阻的光刻精确定位控制。 |
| 公开日期 | 2010-06-02 |
| 申请日期 | 2009-11-24 |
| 状态 | 失效 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63390]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙继凤,刘立峰,王忠生,等. 绿光调阻的聚焦透镜非线性像差校正的控制系统和方法. CN101718958A. 2010-06-02. |
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